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大型逆転式イオンビーム研磨装置 ÅFiSy IFS1500I
公開日時：
2025-09-18 09:49
出典：
大型逆転型イオンビーム研磨装置ÅFiSy IFS1500Iは、二重真空室設計を採用し、3軸3連動方式を備えています。加工対象部品を逆さに配置し、メイン真空室の最大部品サイズは直径1500mm、厚さ300mmまで対応可能です。サブ真空室の最大部品口径は直径700mmまでです。加工精度はRMSで0.5nm以下と非常に高精度です。微晶ガラス、熔融石英、K9ガラス、シリコンなどの光学材料の平面、球面、非球面、自由曲面加工に広く使用されており、円形、矩形、楕円形などさまざまな形状のワークの加工にも対応可能です。
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