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エフォーステクノロジー新製品：2メートル大型イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS2000S
公開日時：
2025-09-18 09:51
出典：
2メートル大型イオンビーム研磨装置ÅFiSy IFS2000Sは、単一真空チャンバー構造を採用し、3軸3リンク方式を備えています。ワークは垂直に設置され、イオン源は水平に設置されています。最大加工対象部品のサイズは直径2000mm、厚さ500mmまで対応可能で、ワーク重量は2500kg（フレーム含む）まで耐えられます。また、光学材料（微晶ガラス、ULE、融けた石英、K9など）、単結晶材料（Si、ゲルマニウム、単結晶SiCなど）、赤外線材料などを加工可能です。平面、球面、非球面、自由曲面などの光学表面を加工でき、円形、楕円形、長方形などの鏡面形状も加工できます。面形精度は1/100λ（RMS）以下、表面粗さは1nm（RMS）未満です。
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