イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS1000-600B

製品型番：

長沙エフォーステクノロジー有限公司の次世代イオンビーム研磨機ÅFiSy IFS1000-600Bは、4軸3連動機能を備えており、最大で1000×650mmまたはΦ650mmサイズのワークを加工可能です。また、平面、球面、非球面、オフアクシス面、自由曲面などの光学部品の加工が可能です。
このイオンビーム研磨装置は、主に真空システム、運動システム、イオン源システム、電気制御およびソフトウェアなどで構成されています。そのうち、真空システムは、メイン真空室、サブ真空室、メインとサブを接続する配管、両真空室をつなぐスライドバルブ、およびそれに応じた真空ポンプユニットから構成されています。運動システムは、XYZ運動機構とZ2運動機構からなります。イオン源はメイン真空室内のXYZ運動機構に設置されており、CNCシステムによって制御されることで、イオン源の高精度な運動制御が実現できます。

キーワード：

イオンビーム研磨、イオンビーム研磨装置

所属カテゴリ：

イオンビーム研磨機

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イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS1000-600B

名称	パラメーター
加工能力（最大工作物サイズ）	最大サイズ 1000mm×600mm 最大厚さ 200mm
加工可能な面形状	平面、球面、非球面、自由曲面、放物面など
加工可能な材料	石英、微晶、 ULE、サファイア、単結晶シリコン、炭化ケイ素など
加工精度
X軸ストローク	≥1050mm
Y軸ストローク	≥650mm
Z軸ストローク	≥300mm
イオン源	ドイツのRFイオン源
中和器	ドイツ
作業真空の立ち上がり時間	1時間以内
副室の真空形成時間	15分以内
保護機能	停電、断水、ガス停止などの異常時警報保護、運動システムの故障保護、イオン源の故障保護などを備えています。
スマート機能	スマートなワンタッチ起動、ワンタッチ停止、タイマー起動、タイマー停止、予約加工、加工保護、リモートサポート、ログ機能などを備えています。高度な機能
外形寸法	3.2m×3.8m×2.6m
本体重量	9トン
エネルギー消費電力	総出力 18kW