イオンビーム研磨装置 ÅFiSy IFS500A

製品型番：

長沙エフォーステクノロジーが開発したイオンビーム研磨機ÅFiSy IFS500Aは、3軸3リンク機能を備えており、最大で500×500mmサイズのワークを加工可能で、平面、球面、非球面などの光学部品の加工が可能です。このイオンビーム研磨機は主に真空システム、運動システム、イオン源システム、電気制御およびソフトウェアなどで構成されています。高精度な真空運動システム、ワークのスマートな位置決め、ワークの垂直方向最適配置、ナノ（亜ナノ）レベルの精度による超滑らかな表面加工を実現しています。

キーワード：

イオンビーム研磨、イオンビーム研磨装置

所属カテゴリ：

イオンビーム研磨機

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イオンビーム研磨装置 ÅFiSy IFS500A

名称	パラメーター
加工能力（最大工作物サイズ）	最大サイズ 500mm×500mm 最大厚さ 80mm
加工可能な面形状	平面、球面、非球面、自由曲面、放物面など
加工可能な材料	石英、微晶、 ULE、サファイア、単結晶シリコン、炭化ケイ素など
加工精度
X軸ストローク	≥500mm
Y軸ストローク	≥500mm
Z軸ストローク	≥500mm
イオン源	ドイツのRFイオン源
中和器	ドイツ
作業真空の立ち上がり時間	1時間以内
副室の真空形成時間	15分以内
保護機能	停電、断水、ガス停止などの異常時警報保護、運動システムの故障保護、イオン源の故障保護などを備えています。
スマート機能	スマートなワンタッチ起動、ワンタッチ停止、タイマー起動、タイマー停止、予約加工、加工保護、リモートサポート、ログなどの高度な機能を備えています。
外形寸法	2.5m×2.5m×2.5m
本体重量	5トン
エネルギー消費電力	最大12kW、平均5kW