イオンビーム研磨機IFS300A

製品型番：

売れ筋のイオンビーム研磨機
二つの真空チャンバーにより、ワークの迅速な交換が可能で、イオンビーム研磨による生産効率が高まります。
ファラデーカップと3次元測定ヘッドを統合し、ファラデーカップでイオンビームの空間位置および分布を測定、3次元測定ヘッドでワークの空間位置および姿勢を測定することにより、精密な加工座標系を構築します。これにより、高い確実性と高精度なイオンビーム研磨を実現し、中・高周波数の誤差を効果的に低減します。
ワークピースを側面に立てて固定し、イオンビーム研磨は操作が簡単で信頼性が高く、安定しています。
ワイヤレス操作ハンドル、
イオンビーム研磨制御ソフトウェアは高度に統合され、スマートです。イオンビーム研磨の保護措置も万全で、停電、断水、ガス供給停止などの異常時警報保護機能、運動システムの故障保護機能、イオン源の故障保護機能などを備えています。

キーワード：

イオンビーム研磨、イオンビーム研磨装置

所属カテゴリ：

イオンビーム研磨機

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イオンビーム研磨機IFS300A

_{イオンビーム研磨装置IFS300Aの技術仕様}

名称	パラメーター
加工能力（最大工作物サイズ）	300mmx300mm 厚さ100mm
加工可能な面形状	平面、球面、非球面、自由曲面、放物面など
加工可能な材料	石英、微晶、ULE、サファイア、単結晶シリコン、炭化ケイ素など
加工精度	亜ナノ加工精度、面形状のRMS値が1nm未満という超高精度加工を実現可能。
X軸ストローク	≥300mm
Y軸ストローク	≥300mm
Z軸ストローク	≥300mm
イオン源	ドイツのRFイオン源
中和器	ドイツ
作業真空の立ち上がり時間	≤1 hours
副室の真空形成時間	≤15 min
保護機能	停電、断水、ガス停止などの異常時警報保護、運動システムの故障保護、イオン源の故障保護などを備えています。
スマート機能	スマートなワンタッチ起動、ワンタッチ停止、タイマー予約加工、リモートコントロール、ログ機能などを備えています。
外形寸法	長さ・幅・高さ：2.5×2.5×2.1m
本体重量	4トン
エネルギー消費電力	最大：12kW　平均：5kW