イオンビーム研磨機IFS2000S

製品型番：

ÅFiSy IFS2000Sは、Φ2メートル級の光学部品専用のイオンビーム研磨システムです。最大でΦ2メートル、厚さ500mmの光学部品を口径いっぱいに加工可能です。ワークの装着方式は垂直型であり、ワーク装着システムが支えられるワーク重量は2500kg以上（フレーム含む）です。本装置で加工可能な材料には、光学材料（微晶ガラス、ULE、融けた石英、K9）、単結晶材料（Si、ゲルマニウム、単結晶SiC）、赤外線材料などが含まれます。また、加工可能な光学面形状には平面、球面、非球面、自由曲面などがあります。鏡面の外形としては円形、楕円形、長方形などが加工可能です。最終的な面形状の加工精度は、波長632.8nmを基準としたPV値で1/10波長以下、RMS値で1/100波長以下となり、表面粗さは1nmRMS以下です。

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イオンビーム研磨機

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イオンビーム研磨機IFS2000S

名称	パラメーター
加工能力（最大工作物サイズ）	最大サイズ 2000mm×2000mm 最大厚さ 500mm
加工可能な面形状	光学表面：平面、球面、非球面、自由曲面；鏡面の形状：円形、楕円形、長方形など
加工可能な材料	光学材料（微晶ガラス、 ULE、融けた石英、K9）、単結晶材料（Si、ゲルマニウム、単結晶SiC）、赤外線材料など
加工精度
X軸ストローク	≥2100mm
Y軸ストローク	≥2100mm
Z軸ストローク	≥300mm
イオン源	ドイツのRFイオン源
中和器	ドイツ
作業真空の立ち上がり時間	1時間以内
副室の真空形成時間	/
保護機能	停電、断水、ガス停止などの異常時警報保護、運動システムの故障保護、イオン源の故障保護などを備えています。
スマート機能	スマートなワンタッチ起動、ワンタッチ停止、タイマー起動、タイマー停止、予約加工、加工保護、リモートサポート、ログなどの高度な機能を備えています。
外形寸法	6.5m×4.0m×3.5m
本体重量	20トン
エネルギー消費電力	総出力 35kW