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イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS1300S


製品型番:

長沙エフォーステクノロジー有限公司の次世代イオンビーム研磨機ÅFiSy IFS1300Sは、最大Φ1300mmサイズのワークを加工可能で、平面、球面、非球面、オフアクシス面、自由曲面などの光学部品の加工が可能です。
ÅFiSy IFS1300Sは、単一真空チャンバーのサイドイン方式を採用し、ワークを垂直に装着する構造を有しています。この装置は主に、真空システム、運動システム、イオン源システム、ワークシステム、電気制御およびソフトウェアシステムなどで構成されています。
IFS1300Sのレイアウト寸法は5.0m×4.0m×2.5mです。IFS1300Sの電源は三相五線式380Vで、総出力は23kVAです。IFS1300Sの重量は約10トンです。
IFS1300Sは、最大で1300×1300mm、厚さ400mm(バックプレート付き)のワークを加工可能で、平面、球面、非球面、オフ軸曲面、自由曲面などの光学部品の加工が可能です。加工対象材料は、マイクロクリスタル、K9、融けた石英、Si、CVD SiC、ニッケルリン酸塩コーティングです。

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