イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS1300C

製品型番：

イオンビーム研磨機「ÅFiSy IFS1300C」は、二重真空チャンバー構造を採用し、ワークを垂直に固定する側面搬入方式を採用しています。この装置は装着が簡単で安全であり、高い精度と優れた安定性を備えています。「ÅFiSy IFS1300C」は3軸3連動機能を有し、最大で1300×1300mmのサイズのワークを加工可能で、平面、球面、非球面、オフアクシス非球面および自由曲面などの光学部品を高精度に仕上げることが可能です。エフォーステクノロジーのイオンビーム研磨機「ÅFiSy IFS1300C」の設備寸法は6.2m×4.0m×2.69mで、作業に必要なスペースは8.0m×7.0m×3.2mです。電源は三相5線式380Vを採用し、総消費電力は23kVA、装置の重量は約15トンです。

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イオンビーム研磨機

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イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS1300C

名称	パラメーター
加工能力（最大工作物サイズ）	最大サイズ 1300mm×1300mm 最大厚さ 300mm、最大重量700kg
加工可能な面形状	平面、球面、非球面、オフ軸非球面および自由曲面など
加工可能な材料	石英、微晶、 ULE、サファイア、単結晶シリコン、炭化ケイ素など
加工精度
X軸ストローク	≥1350mm
Y軸ストローク	≥1350mm
Z軸ストローク	≥300mm
イオン源	ドイツのRFイオン源
中和器	ドイツ
作業真空の立ち上がり時間	≤ 2 時間
副室の真空形成時間	15分以内
保護機能	位置制限保護、ワークピース保護、 Y軸同期保護、緊急停止、電気的安全保護、真空システムの安全保護、イオンビーム研磨プロセスの安全保護など
スマート機能	スマートなワンタッチ起動、ワンタッチ停止、タイマー起動、タイマー停止、予約加工、加工保護、リモートサポート、ログなどの高度な機能を備えています。
外形寸法	6.2m×4.0m×2.69m
本体重量	15トン
エネルギー消費電力	総出力 23kW