イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS1500I

製品型番：

大型逆転型イオンビーム研磨装置ÅFiSy IFS1500Iは、二重真空室設計を採用し、3軸3連動方式を備えています。加工対象部品を逆さに配置し、主真空室の最大対象部品サイズは直径1500mm、厚さ300mmまで対応可能です。副真空室の最大対象部品口径は直径700mmです。加工精度はRMSで0.5nm以下と非常に高精度です。微晶ガラス、熔融石英、K9ガラス、シリコンなどの光学材料の平面、球面、非球面、自由曲面加工に広く使用されており、円形、矩形、楕円形などさまざまな形状のワークの加工にも対応します。

キーワード：

イオンビーム研磨、イオンビーム研磨装置

所属カテゴリ：

イオンビーム研磨機

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イオンビーム研磨機 ÅFiSy IFS1500I

名称	パラメーター
加工能力（最大工作物サイズ）	最大サイズ 1500mmx1500mm 最大厚さ 300mm
加工可能な面形状	平面、球面、非球面、自由曲面、放物面など
加工可能な材料	石英、微晶、 ULE、サファイア、単結晶シリコン、炭化ケイ素など
加工精度	亜ナノメートルの加工精度、形状を実現可能 RMS<1nmの超高精度加工
X軸ストローク	≥1600mm
Y軸ストローク	≥1600mm
Z軸ストローク	≥300mm
イオン源	ドイツのRFイオン源
中和器	ドイツ
作業真空の立ち上がり時間	1時間以内
副室の真空形成時間	15分以内
保護機能	停電、断水、ガス停止などの異常時警報保護、運動システムの故障保護、イオン源の故障保護などを備えています。
スマート機能	スマートなワンタッチ起動、ワンタッチ停止、タイマー予約加工、リモートコントロール、ログ機能などを備えています。
外形寸法	6.4m×3.8m×3.3m
本体重量	16トン
エネルギー消費電力	総出力 35kW